GHz-Ultraschall für die Charakterisierung von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)
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Dr. Martin Ryzy
Senior Scientist Acoustics, RECENDT
Mikroelektromechanische Systeme (MEMS) sind Bestandteil einer Vielzahl von Produkten des alltäglichen Lebens. Durch ihre oft große Stückzahl ist deren Optimierung und Weiterentwicklung von großer ökonomischer und ökologischer Bedeutung.
In diesem Vortrag wird eine speziell für Mikrosysteme entwickelte Methode der Laser-basierten, kontaktfreien Hochfrequenz-Ultraschall-Charakterisierung vorgestellt.
Als konkretes Anwendungsbeispiel dient die Charakterisierung von elektroakustischen Filtern (BAW-Filter), die integraler Bestandteil von Mobiltelefonen und Telekommunikationsinfrastruktur sind.
Sprache: ENGLISCH
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