GHz-Ultraschall für die Charakterisierung von Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS)

Talk will be held in English – or potentially in German if only German speaking listeners are participating!
Webinar will be offered as ZOOM-session – please register to receive login-data in due time!
Login from 12:00 on, talk 12:15 – 12:45 + Q&A and open discussion…

Teaser:

Mikroelektromechanischen Systemen (MEMS) sind Bestandteil einer Vielzahl von Produkten des alltäglichen Lebens. Durch deren oft große Stückzahl ist deren Optimierung und Weiterentwicklung von großer ökonomischer und ökologischer Bedeutung.

In diesem Vortrag wird eine speziell für Mikrosysteme entwickelte Methode der Laser-basierten, kontaktfreien Hochfrequenz-Ultraschall Charakterisierung vorgestellt.

Als konkretes Anwendungsbeispiel dient die Charakterisierung von elektroakustischen Filtern (BAW-Filter), die integraler Bestandteil von Mobiltelefonen und Telekommunikationsinfrastruktur sind.